[发明专利]一种阵列基板及其制作方法

摘要

本发明提供了一种阵列基板及其制作方法，涉及显示技术领域。本发明通过在衬底上依次形成第一金属层和绝缘层，在绝缘层上形成刻蚀阻挡层，对刻蚀阻挡层和绝缘层进行多次刻蚀，形成贯穿绝缘层的连接孔，连接孔包括多个依次连通的过孔，且每个过孔的坡度角均小于预设坡度角，形成第二金属层，第二金属层通过连接孔与第一金属层连接。通过对刻蚀阻挡层和绝缘层分多次进行刻蚀，使得形成的连接孔包括多个依次连通的过孔，且由于每次刻蚀掉的绝缘层厚度较小，保证形成的连接孔中的每个过孔的坡度角均小于预设坡度角，在后续制作第二金属层时，避免因连接孔坡度角较大导致第二金属层的覆盖不佳或断线，改善第一金属层与第二金属层的搭接不良。

主权项

1.一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括在衬底上依次形成第一金属层和绝缘层，所述绝缘层覆盖所述第一金属层；在所述绝缘层上形成刻蚀阻挡层；对所述刻蚀阻挡层和所述绝缘层进行多次刻蚀，形成贯穿所述绝缘层的连接孔，所述连接孔包括多个依次连通的过孔，且每个过孔的坡度角均小于预设坡度角；形成第二金属层，所述第二金属层通过所述连接孔与所述第一金属层连接。