[发明专利]一种超薄高平整度聚酰亚胺薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910108371.4 | 申请日： | 2019-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN109912821A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 王宏志;陈彦平;王刚;何中媛;李耀刚;张青红;侯成义 | 申请（专利权）人： | 东华大学 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08L79/08 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 黄志达;魏峯 |
| 地址： | 201620 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超薄高平整度聚酰亚胺薄膜的制备方法，包括：(1)将聚酰亚胺粉末溶解于N,N‑二甲基乙酰胺中，剧烈搅拌，得到聚酰亚胺有机溶液；(2)将载玻片清洗干净后，高纯氩气吹干，氧气等离子体处理，得到等离子体处理后的载玻片；(3)在干燥惰性气体保护的环境下，将聚酰亚胺有机溶液旋涂到载玻片上，真空下热处理，冷却，水浸，静置，剥离，即得。本发明的方法解决了低浓度聚酰亚胺溶液难以旋涂成膜的问题，制备出了超薄高平整度聚酰亚胺薄膜，拓宽了聚酰亚胺的应用领域，降低了聚酰亚胺相关器件的制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 制备 聚酰亚胺薄膜 高平整度 载玻片 有机溶液 氧气等离子体处理 等离子体处理 二甲基乙酰胺 干燥惰性气体 聚酰亚胺粉末 聚酰亚胺溶液 热处理 高纯氩气 剧烈搅拌 旋涂成膜 吹干 水浸 旋涂 冷却 清洗 溶解 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种超薄高平整度聚酰亚胺薄膜的制备方法，包括：(1)将聚酰亚胺粉末溶解于N,N‑二甲基乙酰胺中，剧烈搅拌，得到浓度为100～150mg/mL的聚酰亚胺有机溶液；(2)将载玻片清洗干净后，高纯氩气吹干，氧气等离子体处理，得到等离子体处理后的载玻片；(3)在干燥惰性气体保护的环境下，将步骤(1)中的聚酰亚胺有机溶液旋涂到步骤(2)中等离子体处理后的载玻片上，真空下热处理，冷却，水浸，静置，剥离，即可得到超薄高平整度聚酰亚胺薄膜。
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