[发明专利]微量气体转移装置及方法

摘要

本发明涉及混合气体的制备技术，具体为一种微量气体转移装置及方法。解决了目前混合气体制备中针对微量气体存在制备较难需要反复稀释的技术问题。一种微量气体转移装置，包括一个管道；还包括连接在管道一端的组分混合气瓶以及连接在管道另一端的至少一个平衡气瓶；沿管道由组分混合气体瓶向平衡气瓶方向出发，依次安装有阀门P8、连接有第一支路、第二支路、第三支路、第四支路、第五支路以及安装有阀门P5。本发明将原有称量多级稀释制备低浓度的混合气体方法，改为将微量气体充入到一定容量的管道里，通过控制气体压力来控制微量气体的质量，达到减少制备环节，提高生产效率的目标。本发明相比于现有技术，制备过程容易操作，结果准确可靠。

主权项

1.一种微量气体转移装置，包括一个管道；其特征在于，还包括连接在管道一端的组分混合气瓶以及连接在管道另一端的至少一个平衡气瓶；沿管道由组分混合气体瓶向平衡气瓶方向出发，依次安装有阀门P8、连接有第一支路、第二支路、第三支路、第四支路、第五支路以及安装有阀门P5；第一支路上并联有Y1、Y2、Y3、Y4四个阀门，Y1、Y2、Y3、Y4四个阀门的另一端分别连接有一个压力表；第二支路和第三支路之间连接有至少一个微量气体转移管；微量气体转移管的两端均设有一个阀门；第四支路贯穿管道，位于管道一侧的部分串接有阀门P7，位于管道另一侧的部分串接有阀门P6和真空泵；第五支路上串接有阀门P4和组分原料气瓶；每个平衡气瓶与阀门P5之间均连接有一个阀门；组分混合气瓶、组分原料气瓶和平衡气瓶上也设有相应阀门。