[发明专利]一种基于SOI材料制备的跑道型微环2×4热光开关

摘要

本发明公开了一种基于SOI材料制备的跑道型微环2×4热光开关，包括基于SOI材料制备的直波导和跑道型微环波导，以及顶层的热电极；其中跑道型微环波导由弯曲波导和短直波导构成闭合跑道，所述跑道型微环波导与直波导间构成耦合区，直波导间交叉部分采用多模波导交叉结构。所述顶部热电极加载的数字电信号作用下实现光通道的快速切换。本发明可以实现多输入多输出光信号的同时切换，可应用于光开关阵列、光路由、光逻辑门设计、集成光路中单元器件工作状态检测。

主权项

1.一种基于SOI材料制备的跑道型微环2×4热光开关，其特征在于：包括SiO₂包层，SiO₂包层内部设有水平设置的波导层，所述波导层采用Si材料制备而成，SiO₂包层上平面设有热电极，所述波导层由两条横向直波导、一条纵向直波导、一个跑道型微环波导构成，所述横向直波导与纵向直波导交叉，横向两个直波导的左端是输入端，剩下的两端口和纵向直波导的两端口为输出端；所述跑道型微环波导包括四个短的直波导和四个四分之一环形波导形成的闭环结构，三根直波导与跑道型微环均有耦合区域，且耦合区域的微环是短的直波导；所述热电极的形貌和跑道型微环波导形貌一致，所述热电极位于跑道型微环波导正上方；热电极与跑道型微环波导中间有SiO₂为缓冲层，所述热电极两端施加变化电压来实现不同光输出端口的开关功能。