[发明专利]一种金属-高分子多层复合薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种金属‑高分子多层复合薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤一，将基材和金属靶材固定安装在真空腔体内部；步骤二，将真空腔体抽至真空状态；步骤三，在真空腔体内部产生电浆，并向真空腔体内部间断地充入反应物，从而在基材表面交替形成金属薄膜和高分子薄膜；步骤四，取出制备好的金属‑高分子多层复合薄膜。本发明通过电浆在物理气相沉积以及化学气相沉积上的应用，采用一个真空薄膜系统，在单一基材上制备金属‑高分子多层复合薄膜。

主权项

1.一种金属‑高分子多层复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，将基材和金属靶材固定安装在真空腔体内部；步骤二，将真空腔体抽至真空状态；步骤三，在真空腔体内部产生电浆，并向真空腔体内部间断地充入反应物，从而在基材表面交替形成金属薄膜和高分子薄膜；步骤四，取出制备好的金属‑高分子多层复合薄膜；所述反应物从真空腔体上部充入，所述基材固定安装在真空腔体中部，金属靶材固定安装在真空腔体下部；步骤三中，当真空腔体内部不充入反应物时，将基材旋转至表面朝下，进行金属溅镀；当向真空腔体内部充入反应物时，将基材旋转至表面朝上，并用靶材挡板挡住金属靶材，进行高分子聚合反应。