[发明专利]一种系统型低温等离子气体处理串联装置在审

专利信息
申请号: 201910113941.9 申请日: 2019-02-14
公开(公告)号: CN109675417A 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 周玥 申请(专利权)人: 南京珀斯佩特电子科技有限公司
主分类号: B01D53/32 分类号: B01D53/32;B01D46/30;B01D53/18
代理公司: 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 代理人: 丁秀华
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种系统型低温等离子气体处理串联装置,包括低温等离子串联处理设备1、抽风机2和水洗塔3,低温等离子串联处理设备1出风口连接抽风机2抽风口,抽风机2出风口和水洗塔3通过通风管道连接,外壳均与标准大地连接;低温等离子串联处理设备1设有多个低温等离子处理设备。所述低温等离子串联处理设备包括不锈钢放电管道4、石英双介质放电管道8和等离子发生器10。本发明的有益效果:1)通过各种气体的处理方式将其有效串联,可有效的处理各种成分复杂的气体,延长设备使用寿命,维护设备的安全运行。2)前后各留有检修通道,操作检修方便可靠。3)实验装置为全自动操作,提高实验效率。
搜索关键词: 低温等离子 处理设备 串联 抽风机 串联装置 放电管道 气体处理 出风口 水洗塔 系统型 低温等离子处理 等离子发生器 设备使用寿命 全自动操作 安全运行 处理方式 检修方便 检修通道 实验效率 实验装置 通风管道 维护设备 抽风口 双介质 石英 不锈钢
【主权项】:
1.一种系统型低温等离子气体处理串联装置,其特征是包括低温等离子串联处理设备(1)、抽风机(2)和水洗塔(3),低温等离子串联处理设备(1)出风口连接抽风机(2)抽风口,抽风机(2)出风口和水洗塔(3)通过通风管道连接,外壳均与标准大地连接;低温等离子串联处理设备(1)设有多个低温等离子处理设备。
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