[发明专利]一种低反射双层黄绿膜镜片的镀膜方法在审
申请号: | 201910114717.1 | 申请日: | 2019-02-14 |
公开(公告)号: | CN109652775A | 公开(公告)日: | 2019-04-19 |
发明(设计)人: | 欧阳晓勇;汤峰;朱伟洵 | 申请(专利权)人: | 江苏万新光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/54;G02B1/115 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212331 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种低反射双层黄绿膜镜片的镀膜方法,采用真空镀膜的方式,根据黄绿膜镀膜材料以及镀膜厚度要求,采用不同的镀膜工艺,以达到所需的镀膜厚度,本发明主要步骤包括:1)装置及填料准备;2)抽真空;3)树脂镜片凸面蒸镀膜;4)树脂镜片凹面蒸镀膜。本发明,采用真空镀膜的方式进行镜片凹凸面双层黄绿镀膜,其中凹凸面在波长420‑460μm的反射率为0.2‑0.5%,波长600‑660μm的反射率达到0.15‑0.3%之间,因此,防辐射防紫外线功能高于市场平均水平。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 镜片 绿膜 树脂镜片 真空镀膜 凹凸面 低反射 反射率 蒸镀膜 波长 防紫外线功能 镀膜材料 镀膜工艺 厚度要求 抽真空 防辐射 凹面 凸面 | ||
【主权项】:
1.一种低反射双层黄绿膜镜片的镀膜方法,其特征在于:包括以下步骤:1)装置及填料准备:把待镀膜的树脂镜片放到镀膜机的真空室内的镜片挂架上,然后人工添加镀膜所需的镀膜材料到真空室下方的三个不同坩埚内,检查每个坩埚与真空室相连接的电子喷枪固定牢靠到位,其中凸凹面镀膜材料均为:SiO2、ZrO2、ITO,关上真空室门;2)抽真空:打开镀膜机总电源,确定循环泵、压缩机工作,使镀膜机内部压力达到2×10‑3Pa~0.8×10‑2Pa,温度加热到300℃并保持恒温30分钟,去除镀膜机真空室中的空气水分;3)树脂镜片凸面蒸镀膜:将树脂镜片的凸面朝下,设定镀膜真空室温度45~55℃,真空室压力3×10‑3Pa,将盛放镀膜材料的坩埚的温度设定为1250℃,电子喷枪的发射电子温度控制在350‑400℃,功率25MA,使用电子喷枪将镀膜材料均匀喷涂在镜片的凸面上蒸镀形成黄绿膜镀膜层,黄绿膜镀膜层共为七层;4)树脂镜片凹面蒸镀膜:凸面镀完后再将镜片进行翻转,用同样的工艺对凹面进行蒸镀膜。
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