[发明专利]一种新型纳米冷阴极阵列电子枪

摘要

本发明属于真空电子技术领域，具体提供一种新型纳米冷阴极阵列电子枪，包括：底座、N个第一阳极单元、阴极板、第二阳极板、上绝缘套筒及下绝缘套筒，若干个第一阳极单元均匀分布在底座上，阴极板上开设有倒圆台形孔，每个倒圆台形孔的内斜表面上均铺设有纳米冷阴极发射面，第二阳极板上开设有圆形孔，所述倒圆台形孔、圆形孔与N个第一阳极单元呈一一对应关系。本发明阵列电子枪在阴极附近不需要加磁场，极大的简化了整个电子枪阵列的结构，且通过有效调节第一阳极和第二阳极电压，能够有效调节本发明阵列电子枪所形成的各个电子注横截面半径大小，甚至形成实心电子注，使得本发明电子能够广泛应用于多种电真空器件。

主权项

1.一种新型纳米冷阴极阵列电子枪，包括：底座、N个第一阳极单元、阴极板、第二阳极板、上绝缘套筒及下绝缘套筒，N≥1；其特征在于，所述若干个第一阳极单元均匀分布在底座上，每个第一阳极单元为金属圆台结构、下底面固定在底座上；所述阴极板为金属结构，阴极板上开设有N个倒圆台形孔，每个倒圆台形孔的内斜表面上均铺设有纳米冷阴极发射面；所述第二阳极板为金属结构，第二阳极板上开设有N个圆形孔，每个圆形孔周围有环形凸起；所述N个倒圆台形孔、N个圆形孔与N个第一阳极单元呈一一对应关系，使得每个第一阳极单元与之对应的倒圆台形孔、圆形孔的中轴线重合；所述底座和阴极板通过下绝缘套筒密封连接固定，所述阴极板和第二阳极板通过上绝缘套筒密封连接固定。