[发明专利]镀膜设备及连续镀膜方法

摘要

本发明是关于一种镀膜设备及连续镀膜方法，涉及太阳能电池生产设备领域。主要采用的技术方案为：镀膜设备，其包括：依次设置的第一腔室和第三腔室；其中，所述第一腔室和所述第三腔室相互隔离；所述第一腔室为单原子层沉积工艺腔室，用于制备所述太阳能电池膜层中的缓冲层；所述第三腔室为低压力化学气相沉积工艺腔室，用于在所述缓冲层上制备透明导电层。本发明实施例提供的设备，其能够连续的制膜，非连续制备膜层时，先制备的膜层发生氧化的情况，保证了膜层之间的界面性能。