[发明专利]TFT阵列基板的缺陷检测方法有效

专利信息
申请号: 201910116680.6 申请日: 2019-02-14
公开(公告)号: CN109829912B 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 陈思宇;邓宇帆;金羽锋 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G01N21/88;G01N21/95
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂;鞠骁
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种TFT阵列基板的缺陷检测方法。本发明的TFT阵列基板的缺陷检测方法在获取TFT阵列基板的原始图像后对原始图像进行去噪处理产生去噪图像,对去噪图像进行规则结构纹理背景去除处理产生待判定图像,对所述待判定图像进行缺陷提取获取TFT阵列基板的缺陷的描述参数,利用TFT阵列基板的缺陷的描述参数及预设的参考描述参数判断TFT阵列基板的缺陷的类型,能够简单准确地对TFT阵列基板上的缺陷类型进行检测。
搜索关键词: tft 阵列 缺陷 检测 方法
【主权项】:
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