[发明专利]基于氮化硅光波导的可调微波光子真延时芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 201910117646.0 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN109765654A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张彦峰;卢杰筠;陈钰杰;陈晖;余思远 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/124;G02B6/136;G02B6/13 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于氮化硅光波导的可调微波光子真延时芯片及其制备方法，其包括阵列波导光栅、若干个不同长度的螺旋线；阵列波导光栅包括中心输入波导、输入波导、第一平板波导耦合器、阵列波导、第二平板波导耦合器、中心输出波导、输出波导；中心输入波导依次与第一平板波导耦合器、阵列波导、第二平板波导耦合器、中心输出波导连接；以阵列波导为中心，螺旋线对称的排列在阵列波导的上下侧，并与阵列波导光栅上下侧对应的输入波导的一端、输出波导的一端相连接；输入波导的另一端、输出波导的另一端分别与第一平板波导耦合器、第二平板波导耦合器连接；所述阵列波导光栅与螺旋线以回环的方式形成闭环结构，螺旋线之间采用上下错位布局。 | ||
| 搜索关键词： | 平板波导 耦合器 输出波导 阵列波导光栅 阵列波导 波导 输入波导 螺旋线 氮化硅光 微波光子 延时芯片 中心输入 可调 制备 闭环结构 上下错位 线对称 回环 | ||
【主权项】：
1.一种基于氮化硅光波导的可调微波光子真延时芯片，其特征在于：包括阵列波导光栅（1）、若干个不同长度的螺旋线（2）；所述阵列波导光栅（1）包括中心输入波导（3）、输入波导（8）、第一平板波导耦合器（4）、阵列波导（5）、第二平板波导耦合器（6）、中心输出波导（7）、输出波导（9），所述的中心输入波导（3）依次与第一平板波导耦合器（4）、阵列波导（5）、第二平板波导耦合器（6）、中心输出波导（7）连接；以阵列波导（5）为中心，若干个不同长度的螺旋线（2）分别对称的排列在阵列波导（5）的上下侧，并与阵列波导光栅（1）上下侧对应的输入波导（8）的一端、输出波导（9）的一端相连接；所述输入波导（8）的另一端与第一平板波导耦合器连接，所述输出波导（9）的另一端与第二平板波导耦合器连接；所述螺旋线（2）与阵列波导光栅（1）以回环的方式形成闭环结构，若干个不同长度的螺旋线（2）采用上下错位设置。
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