[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明涉及一种基板处理装置。顶面单元83相对于壳体装卸自如地构成。加热器单元115利用支承部件105与钩可动部107安装在顶面单元83，或从顶面单元83卸除。因此，由于能够将包含封装加热器及配线的加热器单元115从顶面单元83容易地卸除，所以能够利用药液等使顶面单元83清洁。结果，在维护时，能够将具备升华物最容易堆积的排气口49或内部排气管113的顶面部件91卸除浸渍在药液等中而将其洗净，从而能够使封装加热器周围容易地清洁化。

主权项

1.一种基板处理装置，对基板进行热处理，且其特征在于具备：热处理板，将载置在上表面的基板加热而进行热处理；壳体，覆盖所述热处理板的上方，形成由热处理板所致的热处理环境；顶面单元，构成所述壳体的顶面，形成有将所述热处理环境的气体排出的排气口；以及加热器单元，将所述顶面加热；所述顶面单元相对于所述壳体装卸自如地构成，并且所述加热器单元包含加热器及所述加热器用的配线，具备用来将所述加热器单元相对于所述顶面单元安装，并从所述顶面单元将所述加热器单元卸除的装卸部。