[发明专利]一种双面探针台及晶片上料方法在审
| 申请号： | 201910118244.2 | 申请日： | 2019-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN109828194A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 林生财;刘振辉;王胜利 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/067;B65G47/74 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双面探针台。所述双面探针台包括，机架；承片台，连接于机架，所述承片台能够相对于机架运动；安装部，固定于机架；夹片夹具，包括第一挡部；所述第一挡部设置有第一测试孔，沿所述第一测试孔设置有定位凹环；导向部，安装于安装部；所述导向部设置有导向通孔；所述导向通孔包括调偏锥形孔和对准直孔，所述调偏锥形孔与对准直孔连通，晶片放置于调偏锥形孔，在重力作用下，晶片掉落于对准直孔；所述对准直孔正对应定位凹环，使晶片从调偏锥形孔放入后，晶片经过对准直孔进入定位凹环，且晶片的晶粒区域正对应所述第一测试孔。 | ||
| 搜索关键词： | 直孔 锥形孔 对准 调偏 晶片 定位凹环 双面探针 测试孔 导向通孔 承片台 导向部 挡部 机架运动 夹片夹具 晶粒区域 晶片掉落 晶片放置 重力作用 放入 上料 连通 | ||
【主权项】：
1.一种双面探针台（100），其特征在于：所述双面探针台（100）包括，机架（20）；承片台（30），连接于机架（20），所述承片台（30）能够相对于机架（20）运动；安装部（40），固定于机架（20）；夹片夹具（50），包括第一挡部（51）；所述第一挡部（51）设置有第一测试孔（511），沿所述第一测试孔（511）设置有定位凹环（512）；导向部（60），安装于安装部（40）；所述导向部（60）设置有导向通孔（61）；所述导向通孔（61）包括调偏锥形孔（611）和对准直孔（612），所述调偏锥形孔（611）与对准直孔（612）连通，晶片放置于调偏锥形孔（611），在重力作用下，晶片掉落于对准直孔（612）；所述对准直孔（612）正对应定位凹环（512），使晶片从调偏锥形孔（611）放入后，晶片经过对准直孔（612）进入定位凹环（512），且晶片的晶粒区域正对应所述第一测试孔（511）。
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