[发明专利]一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统

摘要

本发明涉及化工设备领域，具体涉及一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统。本发明是通过以下技术方案得以实现的：一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶，其特征在于：还包含副源瓶，所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶贯通连接，所述主源瓶中设有用于检测所述主源瓶中液体液面高度的液位感应器；还包含用于控制所述连接管路开关状态的主阀门。本发明的目的是提供一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，主副瓶分离设计，能动态保证主瓶的液位高度在一个合理的设定值，使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。

主权项

1.一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶（1），其特征在于：还包含副源瓶（2），所述主源瓶（1）通过链接管路（3）与所述副源瓶（2）贯通连接，所述主源瓶（1）中设有用于检测所述主源瓶（1）中液体液面高度的液位感应器（5）；还包含用于控制所述连接管路（3）开关状态的主阀门（13）。