[发明专利]具有机械解耦的温度传感器的应变仪有效
| 申请号： | 201910120291.0 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110174198B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | D·卡尔塔比亚诺 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22;G01K7/16;G01K1/14 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请的各实施例涉及具有机械解耦的温度传感器的应变仪。半导体器件包括衬底上的应变仪，应变仪被配置为测量衬底的应力；以及被设置在衬底内的温度传感器，温度传感器与衬底的应力解耦。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机械 温度传感器 应变 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件，包括：衬底上的应变仪，所述应变仪被配置为测量所述衬底的应力；以及被设置在所述衬底内的温度传感器，所述温度传感器与所述衬底的所述应力解耦。
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