[发明专利]一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201910120450.7 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN109706455B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李少平;张演哲;贺兆波;张庭;蔡步林;万杨阳;王书萍;冯凯;尹印 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法。该铝蚀刻液由磷酸、硝酸、醋酸、盐酸和去离子水组成，在该蚀刻液中，由硝酸和盐酸反应形成的氯化亚硝酰具有更强的氧化性能，使其对金属铝具有高效的蚀刻速率，同时对硅基底表面的氮化钛等金属阻挡层具有极低的蚀刻影响，形成高蚀刻选择比。在制备过程中，通过控制各组分的添加量和顺序，以质量配比先加入磷酸、硝酸、醋酸和去离子水，搅拌均匀后再加入盐酸，能最大化的产生强氧化物质氯化亚硝酰，从而提高铝蚀刻液的蚀刻速率。本发明中的铝蚀刻液能极大的缩短铝蚀刻工艺时间，并满足高选择比的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 速率 选择 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液，其特征在于：所述的铝蚀刻液由磷酸、硝酸、醋酸、盐酸和去离子水组成，蚀刻液中磷酸的质量分数在65%‑85%；硝酸的质量分数在1%‑7%；醋酸的质量分数在1%‑10%；盐酸的质量分数在0.5%‑7%；去离子水的质量分数为余量。
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