[发明专利]光照射装置及方法、具备光照射装置的光加工装置及方法在审
| 申请号： | 201910121041.9 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN110174769A | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 须原浩之 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;许静 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及光照射装置、具备光照射装置的光加工装置、光照射方法以及光加工方法，其目的在于提供一种具有高质量且稳定的光束轮廓的光照射装置。本发明的光照射装置借助于反射镜和聚光透镜将光源输出的激光会聚到预定的聚焦位置，其特征在于，具备用于对所述激光的入射光束截面进行变倍的第一调光单元、以及用于转换所述激光的透射波前的相位分布的第二调光单元。 | ||
| 搜索关键词： | 光照射装置 光加工装置 调光单元 激光 光束轮廓 光源输出 激光会聚 聚光透镜 聚焦位置 入射光束 相位分布 反射镜 光照射 透射波 变倍 转换 加工 | ||
【主权项】：
1.一种光照射装置，其借助于反射镜和聚光透镜将光源输出的激光会聚到预定的聚焦位置，其特征在于，具备，第一调光单元，用于对所述激光的入射光束截面进行变倍；以及，第二调光单元，用于转换所述激光的透射波前的相位分布。
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