[发明专利]图案特征的识别方法

摘要

本发明提供一种图案特征的识别方法，其识别结果应用于光学邻近效应校正，所述图案特征的识别方法包括提供多个具有参考图案特征的参考图像，再通过图像识别装置对参考图像进行识别与分类，并存储识别结果。然后，通过图像识别装置将具有实际图案特征的图像与存储的识别结果进行比对，以将具有实际图案特征的图像进行识别与分类。通过图像识别装置根据分类的结果来计算实际图案特征的角度特征值和/或距离特征值，以得到图案特征的识别结果。