[发明专利]一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法及系统有效
| 申请号： | 201910122841.2 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN109638629B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 冯泽斌;韩晓泉;江锐;杨军红;张华;张琴;王香;廖密 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13 |
| 代理公司： | 44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法，该方法为：先获取一个脉冲序列中第n个脉冲的能量测量值；然后计算该能量测量值与能量设定值之间的差值；以该序列的第z个脉冲为分界点，当n为小于z的正整数时，根据第一数学模型计算下一个脉冲的放电电压值；当n为大于z–1的整数时，根据第二数学模型计算下一个脉冲的放电电压值；最后根据计算的放电电压值产生下一个脉冲。该控制方法能够有效控制每个脉冲序列中的能量超调现象和一个脉冲序列中所有脉冲能量的稳定性。基于该控制方法的控制系统包括：高压放电模块、激光器腔体、激光参数测量模块和能量稳定控制器，结构简单，只需要分离出少量能量即可实现对系统的能量稳定性控制。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 能量稳定性 放电电压 脉冲序列 准分子激光脉冲 数学模型计算 能量测量 高压放电模块 激光参数测量 激光器腔体 控制系统 脉冲能量 能量稳定 有效控制 控制器 分界点 正整数 超调 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光脉冲能量稳定性控制方法，准分子激光器发出多组脉冲序列，每组脉冲序列中包含多个脉冲，各个所述脉冲的能量大小通过控制对应脉冲的放电电压值进行调节，所述放电电压值通过PI控制算法计算得到，其特征在于，所述控制方法包括：/n获取第m个脉冲序列中第n个脉冲的能量测量值；/n计算所述能量测量值与能量设定值之间的差值；/n当n为小于z的正整数时，根据第一数学模型计算所述第m个脉冲序列中第n+1个脉冲的放电电压值；/n当n为大于z–1的整数时，根据第二数学模型计算所述第m个脉冲序列中第n+1个脉冲的放电电压值；/n根据所述放电电压值产生第m个脉冲序列中第n+1个脉冲；/n其中，m为大于1的整数；/n其中，所述第一数学模型为式(1)所示：/n
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