[发明专利]保护膜形成装置

摘要

提供保护膜形成装置，当在借助带被环状框架支承的晶片的上表面形成保护膜时，高效地进行附着于环状框架的上表面的树脂的去除。在保护膜形成装置(2)中，提供单元(23)包含：树脂喷嘴(24)，其向工件组(WS)的晶片(W)的上表面中央提供水溶性树脂；水喷嘴(25)，其向工件组(W)的环状框架(F)的上表面提供水；以及空气喷嘴(26)，其向工件组(WS)的环状框架(F)的上表面提供空气，树脂喷嘴(24)、水喷嘴(25)和空气喷嘴(26)配设在沿保持工作台(20)的保持面方向延伸的臂(27)上，在比水喷嘴(25)靠保持工作台(20)的旋转方向下游侧的位置配设有空气喷嘴(26)，因此当在晶片(W)的上表面形成水溶性保护膜时，还能够高效地对环状框架(F)的上表面进行清洗，从而使水溶性树脂不会残留于环状框架(F)的上表面。

主权项

1.一种保护膜形成装置，在晶片的上表面形成水溶性保护膜，其中，该保护膜形成装置具有：保持工作台，其对工件组进行保持，该工件组是通过将晶片粘贴在以封闭环状框架的开口的方式粘贴于该环状框架的带上而构成的；旋转单元，其使该保持工作台以该保持工作台的保持面的中心为轴进行旋转；以及提供单元，其向该保持工作台所保持的晶片的上表面提供水溶性树脂，该提供单元包含：树脂喷嘴，其向该保持工作台所保持的工件组的晶片的上表面中央提供水溶性树脂；水喷嘴，其向该保持工作台所保持的工件组的环状框架的上表面提供水；以及空气喷嘴，其向该保持工作台所保持的工件组的该环状框架的上表面提供空气，该树脂喷嘴、该水喷嘴以及该空气喷嘴配设在沿该保持工作台的保持面方向延伸的臂上，在比该水喷嘴靠该保持工作台的旋转方向下游侧的位置配设有该空气喷嘴。