[发明专利]一种微波键合线寄生效应自适应消除系统有效
| 申请号： | 201910124618.1 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN109959861B | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张钰英;王魁松 | 申请（专利权）人： | 昆山微电子技术研究院 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘广达 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆山祖冲*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波键合线寄生效应自适应消除系统，包括：测试基板、压控调谐电容、调谐信号控制模块；其中，所述调谐信号控制模块分别连接所述压控调谐电容和测试基板；被测芯片通过键合线与所述测试基板连接；所述调谐信号控制模块根据寄生感抗拟合模型产生调谐控制信号，以消除键合线寄生效应。该系统可广泛应用于微波芯片测试，尤其是亚毫米波、毫米波及更高频段芯片测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 键合线 寄生 效应 自适应 消除 系统 | ||
【主权项】：
1.一种微波键合线寄生效应自适应消除系统，其特征在于，包括：测试基板、压控调谐电容、调谐信号控制模块；其中，所述调谐信号控制模块分别连接所述压控调谐电容和测试基板；被测芯片通过键合线与所述测试基板连接；所述调谐信号控制模块根据寄生感抗拟合模型产生调谐控制信号，以消除键合线寄生效应。
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