[发明专利]一种含有放大结构的柔性应变传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910125217.8 | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN109827681B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 聂萌;艾鹭;陈佳琦 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L1/18;G01L9/06;G01L9/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种含有放大结构的柔性应变传感器及其制备方法，该传感器包括柔性基底、感应薄膜层和结构层；柔性基底的顶端表面设有中心凹槽和四个边缘凹槽，四个边缘凹槽成中心对称分布在中心凹槽的四周；边缘凹槽的长度方向与柔性基底的横向成夹角设置，且该夹角为锐角；感应薄膜层位于柔性基底的中心凹槽中；结构层含有四个结构柱，结构柱位于柔性基底的边缘凹槽中并与边缘凹槽一一对应。本发明柔性应变传感器通过放大结构对感压薄膜层放大拉伸，实现提高柔性应变传感器的灵敏度的目的。本发明制备方法，工艺流程简单，可行性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含有 放大 结构 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种含有放大结构的柔性应变传感器，其特征在于，包括柔性基底(1)、感应薄膜层(2)和结构层(3)；所述柔性基底(1)的顶端表面设有中心凹槽和四个边缘凹槽，四个边缘凹槽成中心对称分布在中心凹槽的四周；所述边缘凹槽的长度方向与柔性基底(1)的横向成夹角设置，且该夹角为锐角；所述感应薄膜层(2)位于柔性基底(1)的中心凹槽中；所述结构层(3)含有四个结构柱，结构柱位于柔性基底(1)的边缘凹槽中并与边缘凹槽一一对应。
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