[发明专利]一种激光辅助柔性随动式工具电极微细电沉积的装置及方法

摘要

本发明公开了一种激光辅助柔性随动式工具电极微细电沉积的装置及方法，涉及定域微细电沉积技术领域，通过使用柔性随动式工具电极限制电场分散区域以及电沉积的反应区域，提高电沉积的定域性以及构件的尺寸精度，通过控制柔性随动式工具电极的运动路径即可沉积出复杂形状的构件；由于激光具有高的功率密度，引入激光辐照改变照射区域的电极状态，加快离子扩散和电子转移速度，提高沉积速率，减少沉积体中麻孔、裂纹等缺陷，提高沉积质量，由电化学和激光两种能量的共同作用实现微细零件的制造。本发明主要用于微细零件的制造，能有效提高电化学沉积的定域性和零件的成形精度。

主权项

1.一种激光辅助柔性随动式工具电极微细电沉积的装置，包括工件加工系统、激光辐照系统和运动控制系统；其特征在于，所述工件加工系统包括X‑Y二坐标工作台(16)、垂直升降工作台(8)、直流脉冲电源(15)、工作槽(13)、柔性随动式工具阳极(10)和阴极基板(14)；所述柔性随动式工具阳极(10)与直流脉冲电源(15)正极相连并由X‑Y二坐标工作台(16)的工作手臂夹持；所述阴极基板(14)与直流脉冲电源(15)负极相连；柔性随动式工具阳极(10)与阴极基板(14)均设置在工作槽(13)的电解液中，通电时，形成电化学回路；所述工作槽(13)设置在垂直升降工作台(8)上；所述激光辐照系统包括脉冲激光器(3)、反射镜(11)、聚焦透镜(12)；所述脉冲激光器(3)发出的激光束经反射镜(11)反射后，再经聚焦透镜(12)聚焦后辐照在柔性随动式工具阳极(10)的下段上；所述运动控制系统包括计算机(1)、运动控制卡(2)；所述计算机(1)控制脉冲激光器(3)和运动控制卡(2)，所述运动控制卡(2)控制X‑Y二坐标工作台(16)和垂直升降工作台(8)。