[发明专利]用于管芯分离的光学可检测的参考特征

摘要

一种半导体晶片（200）具有：半导体本体（10）；半导体本体（10）上的绝缘层（11）；具有功率半导体管芯（100）的有效区域（210），该有效区域（210）形成半导体本体（10）的一部分；邻近有效区域（210）布置的划线区域（220）；钝化结构（13），其被布置在绝缘层（11）上方并且以便暴露绝缘层（11）的一部分（111），暴露部分（111）由钝化结构（13）的终止边缘（131）终止；光学可检测的参考特征（12），其被配置成在晶片分离处理阶段期间用作参考位置。光学可检测的参考特征（12）：（i）被包括在有效区域（210）中，（ii）从终止边缘（131）在空间上移位，以及（iii）通过钝化结构（13）暴露。

主权项

1.一种半导体晶片（200），其具有：‑半导体本体（10）；‑所述半导体本体（10）上的绝缘层（11）；‑具有功率半导体管芯（100）的有效区域（210），所述有效区域（210）形成所述半导体本体（10）的一部分；‑邻近所述有效区域（210）布置的划线区域（220）；‑钝化结构（13），其被布置在所述绝缘层（11）上方并且以便暴露所述绝缘层（11）的一部分（111），暴露部分（111）由所述钝化结构（13）的终止边缘（131）终止；‑光学可检测的参考特征（12），其被配置成在晶片分离处理阶段期间用作参考位置，所述光学可检测的参考特征（12）：‑被包括在所述有效区域（210）中，‑从所述终止边缘（131）在空间上移位，‑通过所述钝化结构（13）暴露。