[发明专利]基于维纳模型控制算法的扩散炉温度控制方法及控制系统有效
| 申请号： | 201910126057.9 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109828622B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 田才忠;章方东;王作义;马洪文;周涛 | 申请（专利权）人： | 上海奕信半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/32 | 分类号： | G05D23/32 |
| 代理公司： | 上海市汇业律师事务所 31325 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201399 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于维纳模型控制算法的扩散炉温度控制方法及控制系统，所述温度控制方法的具体步骤如下：（1）将非线性控制对象即扩散炉加热系统用维纳模型进行描述；（2）通过对静态非线性φ的逆运算，将非线性控制的温控过程简化为线性最优控制；（3）利用状态观测器来模拟控制对象的内部状态变量。与现有技术相比，本发明的扩散炉温控制方法易于编程，计算量较小适合实时控制，可作为软件在微机或电脑上运行满足各种需求，用途广泛。经过验证，本发明的控制方法在保持温度均匀性同时能够实现快速升温，与PID控制器设定相同升温速率下进行消费电力比较，比PID控制器节省约3.68%电力消费。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 模型 控制 算法 扩散 炉温 方法 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于维纳模型控制算法的扩散炉温度控制方法，其特征在于，该方法的实现步骤如下：（1）将非线性控制对象即扩散炉加热系统用维纳模型进行描述；（2）通过对静态非线性φ的逆运算，将非线性控制的温控过程简化为线性最优控制；（3）利用状态观测器来模拟控制对象的内部状态变量。
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