[发明专利]一种高精度全差分电容-电压转换电路系统有效
| 申请号： | 201910126799.1 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109669054B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘云涛;隋鑫;赵文博 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS惯性器件领域，具体涉及一种高精度全差分电容‑电压转换电路系统。包括驱动信号产生部，全差分电荷放大器，电容补偿阵列；整体转换电路与传感器敏感结构仍然采用具单端连接的输出的方式，通过分时复用实现全差分电路结构；电路采用开关电容结构消除寄生电容的影响，主要信号通路均通过相关双采样技术消除低频噪声和失调，电容补偿阵列可对传感器敏感结构的失调和非线性进行校准。本发明能够有效的抑制寄生电容影响，降低开关电荷注入和衬底噪声产生的共模干扰，减小电路的谐波失真，提高加速度计系统的线性度，抑制零点漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 全差分 电容 电压 转换 电路 系统 | ||
【主权项】：
1.一种高精度全差分电容‑电压转换电路系统，其特征在于，包括：驱动信号产生部(301)，全差分电荷放大器(303)，电容补偿阵列(304)、(305)。
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