[发明专利]一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法在审
| 申请号： | 201910126911.1 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109887966A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 邹成;刘志文 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 吕波 |
| 地址： | 213200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及OLED微显示面板技术领域，特别是一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法，在玻璃基板清洗后，在玻璃基板上沉积铬金属薄膜；经过涂胶曝光显影光刻工艺，再经过蚀刻，形成金属铬矩阵；将玻璃基板通过等离子体氧化处理，形成表面的黑色氧化铬层。采用上述方法后，本发明设备及工艺简单，可以形成超细的黑色氧化铬矩阵，降低或消除漏光现象。 | ||
| 搜索关键词： | 矩阵 彩色滤光片 玻璃基板 黑色矩阵 等离子体氧化处理 蚀刻 玻璃基板清洗 微显示面板 光刻工艺 漏光现象 曝光显影 氧化铬层 铬金属 金属铬 氧化铬 超细 涂胶 沉积 制作 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种彩色滤光片黑色矩阵制作方法，其特征在于：在玻璃基板清洗后，在玻璃基板上沉积铬金属薄膜；经过涂胶曝光显影光刻工艺，再经过蚀刻，形成金属铬矩阵；将玻璃基板通过等离子体氧化处理，形成表面的黑色氧化铬层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
