[发明专利]高精度四维超声抛光装置及其使用方法

摘要

本发明提供一种高精度四维超声抛光装置及其使用方法，该装置，包括：放置于水平工作面上的机座、用来与工件接触的超声抛光机构、抛光液喷洒雾化机构、用于移动抛光头的联动机构、双压电叠堆超声振动发生装置、抛光液回收机构、用来夹持工件和对工件产生二维椭圆超声振动的工件夹持机构；所述抛光液回收机构包括规则设置于所述机座上部的定位孔和同所述定位孔连通的废液收集孔。本发明所述的高精度四维超声抛光装置及其使用方法，提高了硬脆材料加工时的延性域加工比例，减少表面材料的脆性去除比例。同时解决磨粒聚集分布不均匀，造成表面损伤，过抛光与欠抛光的问题，并提高了工作效率。

主权项

1.一种高精度四维超声抛光装置，其特征在于，包括：放置于水平工作面上的机座、用来与工件接触的超声抛光机构、抛光液喷洒雾化机构、用于移动抛光头的联动机构、双压电叠堆超声振动发生装置、抛光液回收机构、用来夹持工件和对工件产生二维椭圆超声振动的工件夹持机构；所述抛光液回收机构包括规则设置于所述机座上部的定位孔和同所述定位孔连通的废液收集孔；所述工件夹持机构和双压电叠堆超声振动发生装置通过定位孔设置于所述机座上表面的中心位置；所述的机座的前端面设置有机械臂滑轨，用于向工件喷洒抛光液的所述抛光液喷洒雾化机构设置于所述机械臂滑轨上，并且使所述抛光液喷洒雾化机构能够在所述机械臂滑轨上移动；所述联动机构包括x轴步进电机II、x轴丝杠II、x轴丝杠I和x轴步进电机I；所述x轴丝杠I和x轴丝杠II分别安装于所述机座的两侧壁上端，所述x轴丝杠I端部传动连接有x轴步进电机I，所述x轴丝杠II端部传动连接有x轴步进电机II；所述的x轴丝杠I和x轴丝杠II上分别安装有一个滑座，相同的两个所述滑座之间通过横梁连接，使滑座能够在x轴丝杠I和x轴丝杠II的轴线方向前后移动；并在两个所述滑座之间设置有y轴丝杠，所述的y轴丝杠端部传动连接有y轴步进电机；所述的y轴丝杠上安装有z轴移动装置，使z轴移动装置能够在y轴丝杠的轴线方向前后移动；所述z轴移动装置上设置有超声抛光机构，并且通过z轴移动装置能够驱动超声抛光机构在竖直方向上下移动。