[发明专利]抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201910127368.7 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109799138B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;谢瑞清;赵世杰;孙荣康;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/10 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器；与控制器通信连接的显示终端；固定于横梁上的加载力执行器，且与控制器电性连接；测试板，其为圆形板；其顶部与加载力执行器铰接，其底部与抛光机床的抛光盘抵接；及位移传感器，其通过连接件固定于加载力执行器上，与控制器通信连接，且位移传感器的检测方向指向测试板的顶部。本发明还提供了测量方法，实现了抛光盘弹性模量或蠕变特性的在位测量，无需拆卸抛光盘，操作简单，精度高；同时无需购买专用测量设备，测试成本得到降低；由于测量时无需拆卸抛光盘，防止了抛光盘的形状精度的改变，进而延长了抛光盘的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 弹性模量 特性 在位 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，其搭载于抛光机床(1)上，其特征在于，包括：控制器(4)，所述控制器(4)固定于抛光机床的横梁(2)顶部；显示终端，所述显示终端与所述控制器(4)通信连接；加载力执行器(5)，所述加载力执行器(5)固定于所述横梁(2)上，且与所述控制器(4)电性连接；测试板(6)，所述测试板(6)为圆形板；其顶部与所述加载力执行器(5)铰接，其底部与抛光机床的抛光盘(3)抵接；及位移传感器(7)，所述位移传感器(7)通过连接件固定于所述加载力执行器(5)上，与所述控制器(4)通信连接，且所述位移传感器(7)的检测方向指向所述测试板(6)的顶部。
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