[发明专利]一种PVD镀膜用弧光电子源增强辉光放电表面活化工艺

摘要

一种PVD镀膜用弧光电子源增强辉光放电表面活化工艺：S1.抽真空；S2.供入氩气气压为0.1—1Pa，开启偏压产生氩輝光放电等离子体活化刻蚀；S3.弧光电子源增强清洗：S3‑1.维持氩气压0.1—1Pa，开启弧光电子源主电源，阴极电弧引燃起弧放电，电流20‑100A；开启弧光电子源辅助阳极电源，电流10—80A；调整偏压50—150V及占空比20—80％，清洗活化1‑2min；S3‑2.弧光电子源不变，偏压100V—200V、占空比20—80％，增强离子清洗活化1‑2min；S3‑3.保持弧光电子源不变，调节偏压至150—250V，占空比20—80％，增强离子清洗1‑2min；S3‑4.弧光电子源不变，偏压200‑300V，占空比20—80％，增强离子清洗1‑2min；S3‑5.弧光电子源不变，偏压250—350V，占空比20—80％，增强离子清洗10‑20min；S4.结束。本发明刻蚀活化时间短、能耗低、气体消耗少且能获得优良的洁净光滑表面。

主权项

1.一种PVD镀膜用弧光电子源增强辉光放电表面活化工艺，其特征是包括以下步骤：S1.抽真空：真空室本底真空3.0×10^‑3Pa‑5.0×10^‑3Pa，加热至200‑600℃，保温30‑60分钟；S2.氩輝光放电等离子体活化刻蚀：炉内通入氩气至0.1‑‑1Pa，启动脉冲偏压电源，在炉内产生輝光放电等离子体对工件表面进行活化刻蚀；S3.弧光电子源增强清洗，包括以下子步骤：S3‑1.维持氩气气压为0.1—1Pa，开启弧光电子源，开启弧光电子源主电源，让阴极电弧引燃起弧，实现弧光放电，电弧电流调至20‑100A；开启弧光电子源辅助阳极电源，调节至电流10—80A；调节连接工件的脉冲偏压电源的偏压至50—150V，占空比20—80％，用弧光电子束增强氩辉光放电等离子体清洗活化工件1‑2min；S3‑2.保持弧光电子源参数不变，调节脉冲偏压至100V—200V，占空比20—80％，增强离子清洗活化1‑2min；S3‑3.保持弧光电子源参数不变，调节偏压至150—250V，占空比20—80％，增强离子清洗1‑2min；S3‑4.保持弧光电子源参数不变，调节偏压至200‑300V，占空比20—80％，增强离子清洗1‑2min；S3‑5.保持弧光电子源参数不变，调节偏压至250—350V，占空比20—80％，增强离子清洗10‑20min；S4.结束表面活化：关闭弧光电子源，关闭气体，关闭脉冲偏压，结束表面活化过程，进入涂层阶段。