[发明专利]电介质微观界面荷电及陷阱特性的定量表征方法及装置有效
| 申请号： | 201910132530.4 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN109669057B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 周远翔;张云霄;张灵;周仲柳;陈健宁;滕陈源;黄欣;赖智鑫;李科 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q30/04 | 分类号： | G01Q30/04;G01Q30/20;G01Q60/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张润 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电介质微观界面荷电及陷阱特性的定量表征方法及装置，其中，方法包括：制备栅极电压可控的固体绝缘样品，并获取固体绝缘样品的微观形貌图，以得到绝缘材料的局域态分布特性；对固体绝缘样品进行极化处理，以在去极化过程得到探针上的静电力梯度及电势分布信息，并获取固体绝缘样品的样品表面电势分布特性；根据样品表面电势分布特性反演得到微观界面表面电荷密度分布特性，并且根据微观界面表面电荷密度分布特性和局域态分布特性反推得到绝缘材料的迁移率和陷阱深度。该方法具有操作简便、精确度高、且可为纳米复合材料微区界面表征和定向精准调控提供新技术和新方法等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 微观 界面 陷阱 特性 定量 表征 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电介质微观界面荷电及陷阱特性的定量表征方法，其特征在于，包括以下步骤：制备栅极电压可控的固体绝缘样品，并获取所述固体绝缘样品的微观形貌图，以得到绝缘材料的局域态分布特性；对所述固体绝缘样品进行极化处理，以在去极化过程得到探针上的静电力梯度及电势分布信息，并获取所述固体绝缘样品的样品表面电势分布特性；以及根据所述样品表面电势分布特性反演得到微观界面表面电荷密度分布特性，并且根据所述微观界面表面电荷密度分布特性和所述局域态分布特性反推得到绝缘材料的迁移率和陷阱深度。
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