[发明专利]一种激光加工头中热透镜焦点变化的测量装置及测量方法在审

专利信息
申请号: 201910133110.8 申请日: 2019-02-22
公开(公告)号: CN109799075A 公开(公告)日: 2019-05-24
发明(设计)人: 李勋武 申请(专利权)人: 苏州迅镭激光科技有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 代理人: 盛建德
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种激光加工头中热透镜焦点变化的测量装置及测量方法,其包括:激光加工头,激光加工头包括光纤水晶头、准直镜、聚焦镜、电容随动头以及喷嘴;焦点位置测量模块,所述焦点位置测量模块包括感应片、窗口片、中继镜、耦合镜组、第一成像合束镜、第二成像合束镜、聚光LED、衰减片、滤光片、电动变焦透镜组以及CCD相机,聚光LED发出的光束被第一成像合束镜全反射后进入耦合镜组,再通过中继镜、聚焦镜、准直镜后最终聚焦到光纤水晶头端面上,光纤水晶头端面反射出来的光束原路返回经第一成像合束镜全反射至第二成像合束镜上,并经电动变焦透镜组后在CCD相机上成像。本发明能准确测量出激光加工头的焦点变化量。
搜索关键词: 激光加工头 成像 合束镜 焦点变化 水晶头 光纤 测量模块 测量装置 电动变焦 焦点位置 耦合镜组 聚光LED 聚焦镜 全反射 热透镜 透镜组 中继镜 准直镜 测量 端面反射 原路返回 准确测量 喷嘴 窗口片 感应片 滤光片 衰减片 电容 随动 聚焦
【主权项】:
1.一种激光加工头中热透镜焦点变化的测量装置,其特征在于:其包括一激光加工头,所述激光加工头沿光路传输方向依次包括光纤水晶头、准直镜、聚焦镜、电容随动头以及设置在所述电容随动头末端的喷嘴;一焦点位置测量模块,所述焦点位置测量模块包括感应片、窗口片、中继镜、耦合镜组、第一成像合束镜、第二成像合束镜、聚光LED、衰减片、滤光片、电动变焦透镜组、以及CCD相机,所述聚光LED发出的光束被所述第一成像合束镜全反射后进入所述耦合镜组,再通过所述中继镜、所述聚焦镜、所述准直镜后最终聚焦到光纤水晶头端面上,所述光纤水晶头端面反射出来的光束原路返回经所述第一成像合束镜全反射至所述第二成像合束镜上,并经所述电动变焦透镜组后在所述CCD相机上成像。
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