[发明专利]一种近零膨胀薄膜材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201910135033.X | 申请日： | 2019-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN109811305B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 温永春;郑嘉茜;顾大国;张霞;王旭;余德洋 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 南京业腾知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32321 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 224051 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种近零膨胀薄膜材料，其分子式为Mn3InC1+x，由锰、锡、碳三种元素组成，其原子比基本为Mn:In:C＝3:1:(1+x),其中(x＝‑0.2～0.1),其晶体结构为钙钛矿结构。本发明所述薄膜材料在220K‑330K较宽温度范围内具有近零热膨胀性能，该材料负热膨胀性能是各向同性的，具有良好热导性，结构稳定，该材料电阻率为3.45×10‑7Ω·m，在合金材料的电阻率范围，且原料便宜，制备相对简单，在制备与使用时都非常环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膨胀 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种近零膨胀薄膜材料，其特征在于：其分子式为Mn3InC1+x，由锰、锡、碳三种元素组成，其原子比基本为Mn:In:C＝3:1:(1+x),其中(x＝‑0.2～0.1),其晶体结构为钙钛矿结构。
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