[发明专利]一种制备复合纳米结构的方法在审
| 申请号： | 201910136118.X | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109694035A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 路翠翠;张红钰;刘惟真;袁弘毅;王慧琴;刘晓宏 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备复合纳米结构的方法，特别涉及一种基于纳米机械手精准制备复合纳米结构的方法，属于纳米光子学领域中的微纳加工技术领域。本发明首次提出将纳米机械手用于制备芯片上的复合纳米结构，通过在聚焦离子束/电子束双束系统中引入纳米机械手，能自由、任意地操控特征尺寸为5nm到100nm、形状不限的纳米颗粒，能够将纳米颗粒精准移动至目标纳米结构中，完成芯片上的复合纳米结构的制备。本发明解决了现有的微纳操控技术在所操控纳米颗粒尺寸上的断层问题和形状受限问题，为复合纳米器件的精准制备提供了先进的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制备复合纳米 纳米机械手 纳米颗粒 操控 制备 复合纳米结构 电子束 芯片 微纳加工技术 聚焦离子束 纳米光子学 断层问题 复合纳米 目标纳米 双束系统 形状受限 引入 移动 自由 | ||
【主权项】：
1.一种制备复合纳米结构的方法，其特征在于：利用纳米机械手将纳米颗粒转移到目标纳米结构中，完成复合纳米结构的制备，具体步骤如下：步骤一、通过扫描电子显微镜观察样品，利用聚焦离子束轰击刻蚀目标纳米结构；步骤二、将纳米机械手尖端靠近纳米颗粒，纳米颗粒通过分子间作用力吸附在尖端，移动纳米机械手将纳米颗粒移至目标纳米结构中，即完成了复合纳米结构的制备。
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