[发明专利]分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法有效
| 申请号： | 201910137184.9 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN110196490B | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 广久保望 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G02B5/28;G01R27/26;G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李罡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法，能够高精度地对目标波长的光进行分光。分光装置具备：分光模块、检测所述分光模块的温度的温度检测部和控制所述分光模块的模块控制部，所述分光模块包括：干涉滤波器，具有一对反射膜以及通过施加电压改变所述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部；以及电容检测电路，输出与所述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号，所述模块控制部根据所述分光模块的温度特性和由所述温度检测部检测到的检测温度校正从所述电容检测电路输出的检测信号的目标值，控制施加在所述间隔变更部的所述电压以便于成为校正从所述电容检测电路输出的检测信号的所述目标值。 | ||
| 搜索关键词： | 分光 装置 温度 特性 导出 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种分光装置，其特征在于，具备：分光模块；温度检测部，检测所述分光模块的温度；以及模块控制部，控制所述分光模块，所述分光模块包括：干涉滤波器，具有一对反射膜以及通过施加电压来改变所述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部；以及电容检测电路，输出与所述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号，所述模块控制部根据所述分光模块的温度特性以及由所述温度检测部检测到的检测温度来校正从所述电容检测电路输出的检测信号的目标值，控制施加在所述间隔变更部的所述电压以使从所述电容检测电路输出的检测信号成为校正后的所述目标值。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社，未经精工爱普生株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910137184.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变倍光学系统及摄像装置
- 下一篇：一种双视场红外成像系统散焦的建模仿真方法
