[发明专利]一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法及装置有效
| 申请号： | 201910137417.5 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109813533B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 何海祥;陈驰;蒋建华 | 申请（专利权）人： | 深圳市安思疆科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法及装置，包括：拍摄测量光经DOE产生的衍射光斑图；计算所述衍射光斑图内每个光斑的灰度值G；测试所述衍射光斑图内各光斑的衍射功率P和入射测量光的总功率P0；更换不同的DOE，根据各DOE中某一光斑对应的灰度值G和衍射功率P，计算确定该该光斑的最佳功率校正系数α；后续其他DOE的批量测试，则直接根据机器视觉拍摄得到衍射光斑图来计算得到每个光斑的灰度值G，再乘以各自的最佳功率校正系数α，得到每个衍射光斑的功率值，根据这些功率值可以直接计算得出所测试DOE的衍射效率和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 批量 测试 doe 衍射 效率 均匀 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的方法，其特征在于，包括：步骤1：拍摄测量光经DOE产生的衍射光斑图，含n个衍射光斑；步骤2：计算所述衍射光斑图内每个衍射光斑的灰度值G；步骤3：测试所述衍射光斑图内各衍射光斑的实际衍射功率P；步骤4：更换不同的DOE m次，重复步骤1～3，根据m个DOE中每一个衍射光斑对应的灰度值G和实际衍射功率P来建立评价函数，计算确定每一个衍射光斑最佳的功率矫正系数α；步骤5：测试光源的实际出射光总功率P0；步骤6：批量测量时，根据各DOE拍摄得到的光斑图，计算得到每个衍射光斑的灰度值{g1，g2，g3……gn}，再分别乘以各自的功率校正系数α，得到每个衍射光斑的功率值{g1*α1，g2*α2，g3*α3……gn*αn}，计算所测试DOE的衍射效率和均匀性。
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