[发明专利]一种大功率高效多用途微波等离子体炬

摘要

本发明公开了一种大功率高效多用途微波等离子体炬,包括：提供微波的微波源、微波传导机构、等离子体发生器、气体输送机构等；所述微波源和微波传导机构可以使大功率微波高效传输，等离子体发生器可使微波能在喷嘴处产生最强电磁场，强电磁场击穿通过喷嘴处经过配置的工质气体，并发生放电，放电使密集的工质气体高效产生等离子体羽流。

主权项

1.一种大功率的高效多用途微波等离子体炬，其特征在于，包括：提供微波的微波源、微波传导机构、等离子体发生器、气体输送机构；所述微波源为可调功率微波源；所述微波传导机构包括：与微波源依次连接的波导激励头、波导环形器、三销钉滤波匹配调谐器、波导谐振腔；所述三销钉滤波匹配调谐器与波导谐振腔之间通过波导弯头连接；所述波导谐振腔内滑动设置有波导短路器；所述波导短路器位于波导谐振腔远离波导弯头的一端；所述等离子体发生器包括：与波导谐振腔十字交叉连接的同轴等离子体发生腔、非金属放电管、激励导体、设在同轴等离子体发生腔上部的涡流发生器、固定架；所述同轴等离子体发生腔的下部开口形成等离子体喷嘴；所述非金属放电管固定在同轴等离子体发生腔的内壁上，且穿过波导谐振腔延伸至涡流发生器；所述激励导体的上端连接至涡流发生器，下端延伸至所述等离子体喷嘴；所述涡流发生器包括：与所述同轴等离子体发生腔连接的涡流发生器壳体、固定在涡流发生器壳体内的发生腔短路器、斜向插入涡流发生器壳体内的若干个进气管；所述进气管连通至同轴等离子体发生腔内；所述固定架上部固定在波导谐振腔上，下部与同轴等离子体发生腔固定连接；所述进气管连通至气体输送机构；所述气体输送机构包含按比例输入的若干种工质气体。