[发明专利]氮化铝陶瓷基板的烧结方法有效

专利信息
申请号: 201910138598.3 申请日: 2019-02-25
公开(公告)号: CN109809823B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 汪文涛;胡娟;李大海 申请(专利权)人: 银川艾森达新材料发展有限公司
主分类号: C04B35/581 分类号: C04B35/581;C04B35/638;C04B35/64
代理公司: 宁夏合天律师事务所 64103 代理人: 周晓梅
地址: 750021 宁夏回族自治区银川市*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 一种氮化铝陶瓷基板的烧结方法,在基板烧结过程中,使用惰性气体对石墨烧结炉炉膛内的气氛进行置换,本发明的烧结方法采用可控的氮气保护气氛,并定期置换炉内气氛,调整石墨烧结炉的炉膛压力和炉内化学物质气氛,排出杂质气氛,控制氮化铝陶瓷基板的热导率和提升基板的平整度。采用本发明方法生产的基板的热导率可以稳定控制在170W/m·K以上,基板平整度合格率为95%以上。
搜索关键词: 氮化 陶瓷 烧结 方法
【主权项】:
1.一种氮化铝陶瓷基板的烧结方法,其特征在于:在基板烧结过程中,使用惰性气体对炉膛内的气氛进行置换。
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