[发明专利]操作粒子辐射设备的方法和执行该方法的粒子辐射设备

摘要

本发明涉及一种用于操作粒子辐射设备的方法。在该方法中使物镜电流摆动。在物镜电流摆动的过程中，调节偏转单元和/或挡板单元的特性。特性的调节如此进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。此外，在该方法中，进行射束发生器的工作电压的摆动并且借助于样品台进行物体的定向。在工作电压摆动的过程中，样品台向定向位置中的移动如下进行，使得在显示装置上显示的物体的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。

主权项

1.一种用于操作粒子辐射设备(100，100A，200，400)的方法，该粒子辐射设备具有‑至少一个射束发生器(101，301，402)，该射束发生器用于产生具有带电初级粒子的粒子射束，‑至少一个物镜(107，107A，304，421)，该物镜用于将该粒子射束聚焦到物体(114，425)上，其中在该粒子射束与该物体(114，425)相互作用时出现相互作用粒子和/或相互作用辐射，其中该物镜(107，107A，304，421)至少部分在该射束发生器(101，301，402)与该物体(114，425)之间产生磁场和电场，‑用于偏转该粒子射束的至少一个可调节的偏转单元(131，132)和/或用于使该粒子射束成形的至少一个可调节的挡板单元(109)，‑至少一个可移动的样品台(122，424)，该样品台用于将该物体(114，425)安排在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中，‑至少一个检测器(116，117，121，134，419，428)，该检测器用于检测该相互作用粒子和/或相互作用辐射并且用于产生检测器信号，‑至少一个显示装置(124)，该显示装置用于显示该物体(114，425)的图像，其中该图像借助于这些检测器信号来产生，‑至少一个物镜控制单元(125)，该物镜控制单元用于以物镜电流(I)对该物镜(107，107A，304，421)进行供应并且用于调节该物镜电流(I)，并且具有‑至少一个射束发生器控制单元(126)，该射束发生器控制单元用于以工作电压(U)对该射束发生器(101，402)进行供应并且用于调节该工作电压(U)，其中该方法包括以下步骤：‑借助于该物镜控制单元(125)将该物镜电流(I)调节到电流值(11)并且借助于该物镜控制单元(125)周期性改变该物镜电流(I)的电流值(I1)；‑在周期性改变该物镜电流(I)的过程中调节该偏转单元(131，132)和/或该挡板单元(109)的以下特性中的至少一者：(i)该偏转单元(131，132)和/或该挡板单元(109)在该粒子辐射设备(100，100A，200，400)中的位置，以及(ii)用于对该偏转单元(131，132)和/或挡板单元(109)进行供应的至少一个控制变量，其中如下进行该调节，使得在该显示装置(124)上显示的该物体(114，425)的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差；‑借助于该射束发生器控制单元(126)将该工作电压(U)调节到电压值(U1)并且借助于该射束发生器控制单元(126)周期性改变该工作电压(U)的电压值(U1)；并且‑在周期性改变该工作电压(U)的电压值(U1)的过程中将该样品台(122，424)移动到该物体(114，425)的如下位置中，使得在该显示装置(124)上显示的该物体(114，425)的图像不移动或者使所显示的图像的移动具有最小偏差。