[发明专利]一种基于图形化补偿的模态匹配式微机械Z轴环形谐振陀螺在审
| 申请号： | 201910140760.5 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111623761A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 白泽森;杨振川;崔健;赵前程;闫桂珍 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100871 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于图形化补偿的模态匹配式微机械Z轴环形谐振陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，中心轴，驱动/检测方向支撑梁，谐振环，固定电极。陀螺仪由(100)硅制造，驱动/检测方向的支撑梁各有4根，分别重合或垂直于硅的[110]和[100]方向，两两支撑梁间夹角均为45度。驱动方向的支撑梁在图形化补偿后，其等效刚度将与检测方向相等。谐振环通过支撑梁与中心轴相连。固定电极共有16个，均匀分布在谐振环外侧。固定电极和中性轴经锚点与衬底相连，衬底上有金属走线以实现与后端电路的电气连接。本发明从图形化设计的角度上进行了(100)单晶硅杨氏模量不对称的补偿，实现了模态匹配，模态匹配后的陀螺在角速度的高精度测量中可以发挥重要作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 图形 补偿 匹配 式微 机械 环形 谐振 陀螺 | ||
【主权项】：
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