[发明专利]一种防贴片的黑硅制绒装置

摘要

本发明公开了一种防贴片的黑硅制绒装置，包括机械臂、预脱水槽槽体和硅片花篮，所述预脱水槽槽体的顶部设置有开口，机械臂连接硅片花篮，硅片花篮内放置硅片；机械臂包括两组机械杆，两组机械杆分别与硅片花篮相对的两个侧壁连接，两组机械杆之间设置有上下活动的压杆，压杆的底面设置有若干个卡齿；机械臂带动其底部的硅片花篮经预脱水槽槽体顶部的开口纵向运动，压杆向下移动至卡齿将硅片花篮内的若干块硅片依次横向分隔开；本发明的装置设置在硅片烘干前的预脱水槽中，通过在提抓承载器的机械臂上增加可上下活动的压杆，在预脱水槽中，压杆放下，分离硅片，机械臂提升硅片的过程中确保硅片不贴片，硅片经过提拉脱水后，压杆上升抽出。

主权项

1.一种防贴片的黑硅制绒装置，其特征在于：包括机械臂(1)、预脱水槽槽体(4)和硅片花篮(7)，所述预脱水槽槽体(4)的顶部设置有开口，所述机械臂(1)的下段连接有硅片花篮(7)，所述硅片花篮(7)内放置若干块硅片(5)；所述机械臂(1)包括两组机械杆(8)，两组机械杆(8)分别与硅片花篮(7)相对的两个侧壁(9)连接，两组机械杆(8)之间设置有上下活动的压杆(2)，所述压杆(2)的底面设置有若干个卡齿(3)；所述机械臂(1)带动其底部的硅片花篮(7)经预脱水槽槽体(4)顶部的开口纵向运动，当硅片花篮(7)向下运动置于预脱水槽槽体(4)内，且预脱水槽槽体(4)内的纯水液(6)没过于硅片(5)顶面时；压杆(2)向下移动至卡齿(3)将硅片花篮(7)内的若干块硅片(5)依次横向分隔开。