[发明专利]一种引线键合工艺可靠性监测方法有效
| 申请号： | 201910141627.1 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109900634B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 任万春;蔡少峰;李科;陈凤甫;李力;邓波;邓云刚 | 申请（专利权）人： | 四川立泰电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 蒋斯琪 |
| 地址： | 629000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种引线键合工艺可靠性监测方法，属于精密焊接技术领域，利用基于力传感器的检测模块，监测引线键合工艺关键参数，评价键合可靠性。基于定期监测与数据分析，形成一种引线键合的参数监测与可靠性保障方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 引线 工艺 可靠性 监测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，取用于测取金属线（3）与被键合面之间压力与拉力的微型力传感器（1），在微型力传感器（1）的工作面上沉淀出呈阶梯状的两层薄膜材料层（2），且其中一层薄膜材料层（2）与芯片上的pad材料相同，另一层薄膜材料与引线框架的材料相同；步骤二，采用待检测的引线键合工艺，以金属线（3）作为引线在微型力传感器（1）的工作面上将两层薄膜材料层（2）进行键合，并记录引线键合工艺过程中产生的压力和/或拉力数据参数；步骤三，分别对两层薄膜材料层（2）上的引线键合点施加持续的压力和/或拉力进行测试，记录传感器检测到的引线键合点的压力和/或拉力变化参数数据，根据参数数据进行分析评价。
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