[发明专利]一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线有效

专利信息
申请号: 201910142182.9 申请日: 2019-02-26
公开(公告)号: CN109957783B 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 武文全 申请(专利权)人: 佛山市佛欣真空技术有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 代理人: 崔金
地址: 528200 广东省佛山市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室后侧的清洗室、真空镀膜室、冷却室和收卷室。该用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,在实际使用时,让工件依次经过放卷、高压冲洗、真空镀膜、冷却降温以及收卷处理,其中真空镀膜环节的真空镀膜室通过隔板分成三个等大的小型真空镀膜室,并且这三个小型的真空度镀膜室分别对应设置抽真空系统和蒸汽发热源,将工件表面镀膜的区段分为三段或更多段,有利于镀膜处理时的效率和质量的保证,大大节约了工件表面镀膜的时间,降低了镀膜的成本,有利于中小型企业的推广使用。
搜索关键词: 一种 用于 工件 表面 镀膜 高效 率直 线型 真空镀膜 流水线
【主权项】:
1.一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室(1)以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室(1)后侧的清洗室(2)、真空镀膜室(3)、冷却室(4)和收卷室(5),其特征在于:所述放卷室(1)的内部底端固定安装有用于松放待电镀工件的放卷系统(6),所述放卷系统(6)的松放部外侧固定套接有可拆卸的卷筒(7);所述清洗室(2)的内部底端固定安装有起到除去待电镀工件表面灰尘的清洗系统(8);所述真空镀膜室(3)的内部底端固定安装有三块等距离分布的隔板(9),三块尺寸和结构均相同的隔板(9)将真空镀膜室(3)等距离分为三个真空镀膜腔室,每块隔板(9)的中间位置均贯穿开设有用于导入电镀工件的矩形槽孔,所述真空镀膜室(3)的顶部位置固定安装有三组抽真空系统(10),所述每组抽真空系统(10)的抽气端均延伸至每一个真空镀膜腔室中,所述真空镀膜室(3)的两个侧面上均嵌入安装有三个蒸汽发热源(11),总共设置有六个,每三个为一组,且每个蒸汽发热源(11)的位置均与每一个真空镀膜腔室一一对应;所述冷却室(4)的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行降温处理的冷却系统(12);所述收卷室(5)的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行收卷处理的收卷系统(13),所述收卷系统(13)的结构与放卷系统(6)的结构相同。
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