[发明专利]一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法在审
| 申请号： | 201910142687.5 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109680278A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 简旭宏;黄俊铭;陈彦志 | 申请（专利权）人： | 合肥永淇智材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/28 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法，蚀刻装置包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽。本发明将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属薄板 蚀刻 蚀刻装置 蚀刻液 竖直式 蚀刻容器 滞留 传送机构 两侧设置 喷液机构 不均匀 出料槽 进料槽 均匀性 排布 排出 竖直 传送 | ||
【主权项】：
1.一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)；FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或L形布置，并在传送机构(2)带动下垂直通过所述进料槽(11)进入蚀刻容器(1)内、在传送机构(2)带动下垂直通过所述出料槽(12)输出蚀刻容器(1)；在蚀刻容器(1)内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构(3)。
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