[发明专利]一种推扫式偏振光谱成像微系统、成像方法及制备方法在审
| 申请号： | 201910142850.8 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109764964A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 高博;鱼卫星;王帅;巩邵翔;胡炳樑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/447 | 分类号： | G01J3/447 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 郑丽红 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种推扫式偏振光谱成像微系统、成像方法及制备方法。主要解决现有传统偏振光谱成像系统结构复杂、体积大、质量重等缺点，以及现有的偏振光谱微系统存在光谱及空间分辨率偏低、无法实现全偏振探测的技术问题。推扫式偏振光谱成像微系统包括成像物镜和面阵探测器，面阵探测器的焦面上设置有偏振滤光单元；待测目标的反射光经成像物镜后，通过偏振滤光单元成像在面阵探测器上；偏振滤光单元包括多个依次排列的偏振滤光条带，偏振滤光条带上设置有多个呈规律排布的微纳结构。同时，本发明还提供一种基于上述推扫式偏振光谱成像微系统的成像方法。此外，本发明还提供一种推扫式偏振光谱成像微系统的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 偏振光谱 微系统 偏振 推扫 滤光单元 制备 面阵探测器 成像物镜 滤光条 和面阵探测器 空间分辨率 全偏振探测 成像系统 待测目标 规律排布 微纳结构 依次排列 反射光 光谱 | ||
【主权项】：
1.一种推扫式偏振光谱成像微系统，包括成像物镜(1)和面阵探测器(4)，其特征在于：所述面阵探测器(4)的焦面上设置有偏振滤光单元(5)；待测目标的反射光经成像物镜(1)后，通过偏振滤光单元(5)成像在面阵探测器(4)上；所述偏振滤光单元(5)包括多个依次排列的偏振滤光条带，所述偏振滤光条带上设置有多个呈规律排布的微纳结构。
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