[发明专利]一种氧化锌导电薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910142893.6 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109930121A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘星生;董丽君 | 申请（专利权）人： | 宜春学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C18/12;C23C14/08;C23C28/04;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 马小星 |
| 地址： | 336000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明属于光电材料技术领域，尤其涉及一种氧化锌导电薄膜的制备方法。本发明将水热合成法和磁控溅射法相结合,充分发挥两种方法的优点制备氧化锌导电薄膜，得到的氧化锌导电薄膜的透光率可达到88％以上，电阻率在1.5×10‑4Ω·cm以下，而目前的大部分氧化锌导电薄膜的透光率在85％以下，电阻率在5×10‑4Ω·cm以上，本发明方法制备的氧化锌导电薄膜仅含锌、铝等绿色材料，具有环境友好，来源丰富等优点，能够满足绿色可持续发展要求，特别适合现代农业绿色发展要求和建设光伏温室的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌导电薄膜 制备 电阻率 透光率 磁控溅射法 水热合成法 光电材料 环境友好 绿色材料 现代农业 光伏 温室 建设 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：1)采用水热合成法，在衬底上生长一层氧化锌纳米结构阵列，得到衬底‑氧化锌纳米薄膜；2)采用磁控溅射法在所述衬底‑氧化锌纳米薄膜上沉积三氧化铝层，得到衬底‑氧化锌纳米结构阵列‑三氧化铝薄膜；3)采用磁控溅射法在所述衬底‑氧化锌纳米结构阵列‑三氧化铝薄膜上沉积铝掺杂氧化锌层，得到氧化锌导电薄膜。
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