[发明专利]破片检测装置及破片检测方法在审
| 申请号： | 201910143077.7 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN109633951A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杨洋;梁基惠;黄伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;王中华 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种破片检测装置及破片检测方法。该破片检测装置包括：运送单元、第一检测单元、第二检测单元及控制单元，所述运送单元、第一检测单元及第二检测单元均与所述控制单元电性连接；所述第一检测单元和第二检测单元间隔设置，且所述第一检测单元和第二检测单元均为沿第一方向延伸的条状，所述运送单元能带动基板沿不同于第一方向的第二方向穿越所述第一检测单元和第二检测单元之间的区域，使得条状的第一检测单元和第二检测单元能对所述基板表面进行整面扫描，以实现破片检测，从而提升破片检测的全面性和准确率，避免因破片造成机台损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 破片检测 第二检测 检测 运送单元 机台 单元间隔 电性连接 方向延伸 基板表面 基板沿 面扫描 全面性 准确率 破片 损伤 穿越 | ||
【主权项】：
1.一种破片检测装置，其特征在于，包括：运送单元(10)、第一检测单元(20)、第二检测单元(30)及控制单元(40)，所述运送单元(10)、第一检测单元(20)及第二检测单元(30)均与所述控制单元(40)电性连接；所述第一检测单元(20)和第二检测单元(30)间隔设置，且所述第一检测单元(20)和第二检测单元(30)均为沿第一方向延伸的条状；所述运送单元(10)用于带动基板(100)沿不同于第一方向的第二方向穿越所述第一检测单元(20)和第二检测单元(30)之间的区域；所述第一检测单元(20)用于在所述基板(100)穿越所述第一检测单元(20)和第二检测单元(30)之间的区域时，对所述基板(100)靠近所述第一检测单元(20)的一侧表面进行整面扫描；所述第二检测单元(30)用于在所述基板(100)穿越所述第一检测单元(20)和第二检测单元(30)之间的区域时，对所述基板(100)靠近所述第二检测单元(30)的一侧表面进行整面扫描；所述控制单元(40)用于获取所述第一检测单元(20)及第二检测单元(30)的扫描结果，并根据所述扫描结果判定所述基板(100)是否存在破片。
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