[发明专利]装置的压力系统的操作方法及执行该方法的装置在审
| 申请号： | 201910143644.9 | 申请日： | 2019-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN110223899A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | L.韩 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/06;H01J37/08;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于操作对物体进行成像、分析、和/或处理的装置的压力系统的方法。本发明涉及一种用于执行这种方法的粒子束装置。该方法包括：将泵与压力储器断开；将压力储器连接至真空腔室上；测量压力储器中存在的储器压力、确定第一时刻时储器压力的第一压力值以及第二时刻时储器压力的第二压力值，第二时刻晚于第一时刻；确定储器压力的第一压力值与储器压力的第二压力值之间的函数关系，函数关系是时间函数；针对晚于第二时刻的时刻来外推函数关系；使用外推的函数关系来确定阈值时刻，阈值时刻是外推的函数关系达到压力阈值时的时刻；确定储器压力达到压力阈值之前的剩余时间段；告知使用者和/或装置的控制系统剩余时间段。 | ||
| 搜索关键词： | 储器 函数关系 剩余时间段 压力储器 压力系统 阈值时刻 粒子束装置 测量压力 控制系统 时间函数 真空腔室 阈值时 成像 断开 告知 分析 | ||
【主权项】：
1.一种用于操作对物体(114，225，304)进行成像、分析和/或处理的装置(100，200，300)的压力系统(601，801)的方法，该方法包括：a)将泵(610，610A，811)与压力储器(607，607A，614，802，803)断开；b)测量该压力储器(607，607A，614，802，803)中存在的储器压力(V)、并且确定第一时刻(T1)时该储器压力(V)的至少一个第一压力值(V1)以及第二时刻(T2)时该储器压力(V)的至少一个第二压力值(V2)，其中，该第二时刻(T2)晚于该第一时刻(T1)；c)确定该储器压力(V)的第一压力值(V1)与该储器压力(V)的第二压力值(V2)之间的函数关系，其中，该函数关系是时间函数；d)针对晚于该第二时刻(T2)的时刻来外推该函数关系；e)使用外推的函数关系来确定阈值时刻(TT1)，其中，该阈值时刻(TT1)是该外推的函数关系达到针对该储器压力(V)给出的压力阈值时的时刻；f)确定该储器压力(V)达到该压力阈值之前的剩余时间段(RT1)，其中，该剩余时间段(RT1)是阈值时刻(TT1)与该第二时刻(T2)之间的时间差；并且g)将关于该剩余时间段(RT1)的信息提供给使用者和/或该装置(100，200，300)的控制系统(701)。
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