[发明专利]卡盘结构及反应腔室有效
| 申请号： | 201910143676.9 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN111613509B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 宋智燕 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供的卡盘结构及反应腔室，其包括自下而上依次叠置的基座、隔热层和卡盘本体，还包括第一紧固结构和第二紧固结构，其中，第一紧固结构用于使隔热层与卡盘本体固定连接，且仅与隔热层与卡盘本体相接触；第二紧固结构用于使隔热层与基座固定连接，且仅与隔热层与基座相接触。本发明中，每两个相邻层之间相互固定，且用于固定的紧固结构不与另一层相接触，从而避免了卡盘本体通过紧固结构将热量传递至基座，避免因基座升温致使的真空波纹管、射频器件、密封圈等元器件的寿命降低的问题，延长卡盘结构的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 结构 反应 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910143676.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种分段式垫片
- 下一篇：一种矿棉吸音板及其制备方法
