[发明专利]具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器

摘要

本发明题为“具有绝对压力补偿的空气质量流量传感器”。本发明公开了一种质量流量传感器组件，该质量流量传感器组件包含绝对压力传感器以便经由电子器件补偿流过通道的流体的质量流量的输出读数。流量传感器和压力传感器可彼此紧邻地构建在通道中。可使用MEMS技术制造包括绝对压力传感器的质量流量传感器组件。

主权项

1.一种流量传感器组件，包括：外壳，所述外壳具有通道；输入端口，所述输入端口连接到所述通道的第一端；输出端口，所述输出端口连接到所述通道的第二端；质量流量传感器，所述质量流量传感器位于所述通道中；绝对压力传感器，所述绝对压力传感器具有一定构型，使得所述绝对压力传感器可检测所述腔体中的绝对压力；和电子器件模块，所述电子器件模块连接到所述绝对压力传感器和所述质量流量传感器；并且其中：将来自所述质量流量传感器的质量流速信号发送到所述电子器件；所述电子器件根据所述流速信号来提供所述通道中的流体的质量流速的指示；将来自所述绝对压力传感器的绝对压力信号发送到所述电子器件；并且所述电子器件根据所述绝对压力信号来补偿所述质量流速的所述指示。